Wibowo, K. M.; Romadhona, G.; Royan, R.; Widiantoro, A.; Fatiatun, F.; Hidayah, F. N.; Sunarmi, N. Strategi Penghematan Biaya Pembuatan Peralatan Nanoelektronik Yang Difabrikasi Dengan Profil Data Evaporasi Alumunium. CYCLOTRON 2020, 3.