Strategi Penghematan Biaya Pembuatan Peralatan Nanoelektronik yang Difabrikasi dengan Profil Data Evaporasi Alumunium
Abstrak
Artikel teks lengkap
Referensi
C. Periasamy and P. Chakrabarti, “Structural and electrical properties of metal contacts on n-type ZnO thin film deposited by vacuum coating technique,†J. Vac. Sci. Technol. B Microelectron. Nanom. Struct., vol. 27, no. 5, pp. 2124–2127, 2009.
P. Stallinga and H. L. Gomes, “Metal contacts in thin-film transistors,†Org. Electron. physics, Mater. Appl., vol. 8, no. 4, pp. 300–304, 2007.
I. Lindseth, A. Bardal, and R. Spooren, “Reflectance measurements of aluminium surfaces using integrating spheres,†Opt. Lasers Eng., vol. 32, no. 5, pp. 419–435, 1999.
. H. Chinnam, Krishna Chytanya, Gupta, Swasti and Gleskova, “Aluminium Oxide Prepared by UV/Ozone Exposure for Low-Voltage Organic Thin-Film Transistors,†J. Non. Cryst. Solids, vol. 358, no. 17, pp. 2512–2517, 2012.
. J. Sarkar, S. Saimoto, B. Mathew, and P. S. Gilman, “Microstructure, texture and tensile properties of aluminum-2 at.% neodymium alloy as used in flat panel displays,†J. Alloys Compd., vol. 479, pp. 719–725, 2009.
. M. G. Faraj, K. Ibrahim, M. H. Eisa, and M. A. Alrajhi, “Comparison of Aluminium Thin Film Deposited on Different Polymer Substrates with Thermal Evaporation for Solar Cell Applications,†J. Ovoic Res., vol. 10, no. 6, pp. 231–235, 2014.
R. Almanza, P. Hernández, I. MartÃnez, and M. Mazari, “Development and mean life of aluminum first-surface mirrors for solar energy applications,†Sol. Energy Mater. Sol. Cells, vol. 93, no. 9, pp. 1647–1651, 2009.
Y.-Q. Xiong, X.-C. Li, Q. Chen, W.-W. Lei, Q. Zhao, L.-J. Sang, Z.-W. Liu, Z.-D. Wang, and L.-Z. Yang, “Characteristics and properties of metal aluminum thin films prepared by electron cyclotron resonance plasma-assisted atomic layer deposition technology,†Chinese Phys. B, vol. 21, no. 7, p. 078105, 2012.
A. Ziani, F. Delmotte, C. Le Paven-Thivet, E. Meltchakov, A. Jérome, M. Roulliay, F. Bridou, and K. Gasc, “Ion beam sputtered aluminum based multilayer mirrors for extreme ultraviolet solar imaging,†Thin Solid Films, vol. 552, pp. 62–67, 2014.
K. M. Wibowo, M. Z. Sahdan, M. T. Asmah, H. Saim, F. Adriyanto, Suyitno, and S. Hadi, “Influence of Annealing Temperature on Surface Morphological and Electrical Properties of Aluminum Thin Film on Glass Substrate by Vacuum Thermal Evaporator,†IOP Conf. Ser. Mater. Sci. Eng., vol. 226, p. 012180, 2017.
N. Maiti, a. Biswas, R. B. Tokas, D. Bhattacharyya, S. N. Jha, U. P. Deshpande, U. D. Barve, M. S. Bhatia, and a. K. Das, “Effects of oxygen flow rate on microstructure and optical properties of aluminum oxide films deposited by electron beam evaporation technique,†Vacuum, vol. 85, no. 2, pp. 214–220, 2010.
X. Multone, Y. Luo, and P. Hoffmann, “Er-doped Al2O3 thin films deposited by high-vacuum chemical vapor deposition (HV-CVD),†Mater. Sci. Eng. B Solid-State Mater. Adv. Technol., vol. 146, pp. 35–40, 2008.
H.-L. Chen, Y.-M. Lu, and W.-S. Hwang, “Effect of Film Thickness on Structural and Electrical Properties of Sputter-Deposited Nickel Oxide Films,†Mater. Trans., vol. 46, no. 4, pp. 872–879, 2005.
B. H. Hwang and S. Y. Chiou, “An XRD study of highly textured HfN films,†Thin Solid Films, vol. 304, no. 1, pp. 7–14, 1997.
Penulis
Hak cipta berada di tangan penulis
Artikel yang terbit dapat digunakan di bawah lisensi Creative Commons Atribusi Non-Komersial 4.0 InternasionalÂ
Anda diperbolehkan:
Berbagi menyalin dan menyebarluaskan kembali materi ini dalam bentuk atau format apapun;
Adaptasi menggubah, mengubah, dan membuat turunan dari materi ini
Pemberi lisensi tidak dapat mencabut ketentuan di atas sepanjang Anda mematuhi ketentuan lisensi ini.
Berdasarkan ketentuan berikut:
Atribusi Anda harus mencantumkan nama yang sesuai, mencantumkan tautan terhadap lisensi, dan menyatakan bahwa telah ada perubahan yang dilakukan. Anda dapat melakukan hal ini dengan cara yang sesuai, namun tidak mengisyaratkan bahwa pemberi lisensi mendukung Anda atau penggunaan Anda.
NonKomersial Anda tidak dapat menggunakan materi ini untuk kepentingan komersial.